尼康工具顯微鏡MM-800結合了測量顯微鏡的關鍵性能特點：

更精確

數(shù)字成像和視覺處理計量學

更大的舞臺，增加樣品處理

非接觸Z高度測量

與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)DP-E1A的協(xié)調(diào)

10個可用于不同應用的主體

對于大行程階段（最大值為300mm x 200mm x 200mm）

MM-800/LM：電動Z軸

MM-800/L：內(nèi)置Z線性刻度

MM-800：雙軸測量模型

MM-800/S：用于第三方DRO

MM-800/SL：用于內(nèi)置Z線性刻度的第三方DRO

對于較小沖程階段（最大，150mm x 100mm x 150mm）

MM-400/LM：電動Z軸

MM-400/L：內(nèi)置Z線性刻度

MM-400：雙軸測量模型

MM-400/S：用于第三方DRO

MM-400/SL：用于內(nèi)置Z線性刻度的第三方DRO

尼康工具顯微鏡MM-800特征

300mm x 200mm載物臺

增加的機身強度允許使用更大的工作臺，例如PS12x8C工作臺，從而允許使用更大的工件。

 MM控制器背包接口

照明、X/Y階段和Z數(shù)據(jù)可以連接到MM控制器，作為運行E-Max軟件的外部計算機的接口，用于數(shù)據(jù)處理和系統(tǒng)控制。

全白色LED照明器

高強度白色LED照明器是brightfield的標準配置。該光源無需更換燈泡，色溫恒定，測量精度高，效率高。

聚焦援助（FA）

提供銳利的圖案，在Z軸測量期間實現(xiàn)精確聚焦。由于不同目標的聚焦深度不同而產(chǎn)生的測量誤差被最小化。

應用

半導體封裝、鍵合放置、回路高度、FPD面板（LCM）MEMS、晶圓級CSP、HDD滑塊

FPC的金屬化圖案                FFD-單元工藝                     CCD                                   彩色濾片

明場                                     暗場                                  明場                                    反射熒光

DIC